MFS2200D

MFS2200D

实现洁净室内多层第6代超大型液晶玻璃基板箱体内的高速搬运!

大型液晶玻璃基板搬运机器人
负载:50KG
动态范围:1780mm
控制柜:DX100
用途:搬运、洁净室



  • 特点


适用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
高速、稳定搬运,提高生产效率。
高度柔性动作,大幅度削减配套设备费用。
长期保持高洁净度,降低运营成本。
大幅缩短生产线建立时间。


项目规格
名称MOTOMAN-MFS2200D-3600
机型YR-MFS050D-A00
构造水平多关节形(6个自由度)
负载50kg/手臂
重复定位精度*1±0.2mm
动作范围U轴(上下轴)3600mm
S轴(回转轴)-180.5°~+180.5°
L,R轴(前后轴)-1780mm~+1780mm
左右运作-50mm~+50mm
扭动运作-6°~+6°(上下轴100~1750mm范围)
-0.5°~+0.5°(以上范围以外)
最大速度U轴(上下轴)950mm/s
S轴(回转轴)1.57rad/s,90°/s
L,R轴(前后轴)最大3600mm/s
容许力矩L,R轴(前后轴)353N·m
容许惯性力矩(CD2/4)L,R轴(前后轴)71kg·m2
标准喷涂色孟塞尔munsell N9.5
本体质量2430kg
洁净度*2ISO4
安置环境温度15~25°C
湿度20~80%RH(不结露)
振动4.9m/s2以下
其他·环境没有引火性及腐蚀性气体,液体
·远离水
·远离电子噪音源
·安装机器人水平面水平度在0.5mm以下
电源容量*312.0kVA

*1:依据JIS B8432标准
*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保工件搬运面以上洁净度。
*3:根据用途、作业形式会有所不同。


 
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